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大平台芯片检查金相显微镜LW400LJT/LW400LMDT

产品名称:大平台芯片检查金相显微镜LW400LJT/LW400LMDT

产品规格:国产-CW

产品单位:

产品详情

大平台芯片检查金相显微镜LW400LJT/LW400LMDT简介:

大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业。可进行偏光与明视场、暗视场观察转换。专门设计的大移动范围载物台,移动范围:8"×8"(204mm×204mm),满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.7μm。三目镜筒,可进行100%透光摄影。

大平台芯片检查金相显微镜LW400LJT/LW400LMDT标准配置:

技术规格

目镜

大视野 WF10X(视场数Φ22mm)

无限远长距平场消色差物镜

LW400LJT
(配明场物镜)

PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm

PL L10X/0.25 工作距离:20.2 mm

PL L20X/0.40 工作距离:8.80 mm

PL L50X/0.70 工作距离:3.68 mm

PL L80X/0.80 工作距离:1.25 mm

LW400LMDT
(配明/暗场物镜)

PL L5X/0.12 BD 工作距离:9.70 mm

PL L10X/0.25 BD 工作距离:9.30 mm

PL L20X/0.40 BD 工作距离:7.23mm

PL L50X/0.70 BD 工作距离:2.50 mm

PL L80X/0.80 BD 工作距离:1.25 mm

目镜筒

三目镜30˚倾斜, 100%通光摄影

落射照明系统

LW400LJT

6V30W卤素灯,亮度可调

LW400LMDT

12V50W卤素灯,亮度可调

内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置,推拉式检偏器与起偏器

调焦机构

粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm

转换器

五孔(内向式滚珠内定位)

载物台

机械式载物台,外形尺寸:280mmX270mm,移动范围:横向(X204mm,纵向(Y204mm