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产品单位:台
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 | Phenom GSR 
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| 光学放大 | 3 - 16 X | 
| 电子光学放大 | 80 - 100,000 X | 
| 分辨率 | 优于 20 nm | 
| 数字放大 | Max. 12 X | 
| 光学导航相机 | 彩色 | 
| 加速电压 | 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调 | 
| 真空模式 | 高分辨率模式 降低核电效应模式 高真空模式 | 
| 探测器 | 背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |