日立热场扫描电镜SU7000

仪器介绍：

肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。

扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。

SU7000采用新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以设置较佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。

而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。

它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。

主要特点：

1．在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析

2．z多可同时实现6通道检测与显示

3．在最大像素10,240 x 7,680时，也可获得图像数据

4．同级别*设备中最多的可配置18个附件接口

5．支持z低300Pa的低真空模式（选配）

*空间分辨率在1 nm/1 kV以下

应用领域：

1.金属

2.复合材料

3.半导体器件

4. EBSP分析

主要参数: