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扫描透射电子显微镜MERLIN

产品名称:扫描透射电子显微镜MERLIN

产品规格:进口

产品单位:台

产品详情

MERLIN卓Y的亚纳米级分析能力
扫描透射电子显微镜MERLIN介绍:
从成像到全套实验室应用:卓Y的亚纳米级分析能力
配备 GEMINI II 镜筒的 MERLIN 可以借助先进的探测模式和‘future assured’技术在单一系统平台上实现超快速分析与高分辨成像。
经过预校准的 GEMINI II 光学成像设置,如电压或探针电流,能够根据您的需求进行调整以满足应用和样品要求,且无需再重新校准。即便无经验的用户也能获得出S成像结果。经系统优化后的高束流密度、300 nA 探针电流及高束流下的超高分辨率,确保了在纳米级分析应用中的快速成像。
利用 正光轴 in-lens 二次电子(SE)探测与能量选择背散射(EsB)探测获取丰富的样品信息,用以检测材料组份中非常细微的差异。
Merlin具有全方位的灵活性,满足您的多种应用需求,Merlin借助模块化的样品室设计、可变压力选件,15个端口及一系列特定应用模块,如原子力显微镜(AFM)、原位超薄切片机、大面积成像以及能够轻松应对非导电样品的局部电荷中和模块,它能够升级成为一个综合的纳米分析平台。
扫描透射电子显微镜MERLIN参数:

参数

分辨率

高达 0.6nmSTEM 模式)

探针电流

高达 300nA

加速电压

20V 30 kV

探测模式(可选)

In-lensSE

正光轴 in-lens 二次电子探测

In-lensEsB

用于材料衬度成像的正光轴in-lens 能量选择背散射探测;in-lens SE EsB 并行成像

角度选择背散射探测器(AsB

用于晶体表面的结构分析。

3DSM

用于实时三维表面形貌成像。

STEM

低电压优化明场、4 象限暗场和大角度暗场透射成像。

选件(可选)

ATLAS 大面积成像

用于大尺寸样品区域拼接。

原子力显微镜(AFM)技术

扩展扫描电镜性能,使其具有解析单原子层和检测表面磁性或局部导电率的能力。

局部电荷中和

可以实现非导电样品成像。

3View

原位超薄切片机可实现大体积软组织三维重构。

扫描透射电子显微镜MERLIN应用:
只需使用一系列特定应用选件,便能获取纳米材料、半导体样品、矿物、钢铁或合金的更丰富信息:
*与 SEM/AFM(原子力显微镜)结合,可获取半导体和纳米材料的原子级信息
*使用 ATLAS 大面积成像模块拼接大尺寸样品区域,用于半导体结构的设计验证
*观测诸如矿物、陶瓷、玻璃和聚合物等非导电样品,利用局部可变压力带来的电荷中和作用进行探测分析
*借助实时 3DSM 成像模块轻松掌握 MEMS 器件的形貌和表面粗糙度、纳米结构、硬度测量产生的压痕或法医调查中的划痕
*GEMINI 镜筒可用于磁性样品检测,图像绝不失真。
*通过增加 3View 超薄切片机实现大体积软组织三维重构。
利用局部可变压力模式带来的电荷中和作用对绝缘纤维成像。
EsB探测:
新型材料、纳米复合材料、聚合物、高强度钢和半导体结构的性能关键取决于Z小的组份结构。配置有正光轴能量选择背散射电子(EsB)探测功能的 MERLIN 全套探测系统是探究这些组份结构的合适仪器。低能损背散射电子的能量过滤变化对材料组份、衍生物和相非常敏感,因此能够被区分开。出众的对称式正光轴设计可确保拍摄参数改变时无需重新校准。
此外,Merlin还配置有能够探测其他综合样品信息的信号,如 in-lens 二次电子探测器。