名称

规格型号

简介

大平台无穷远芯片检查显微镜

LW400LJT/

LW400LMDT

大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业的较理想仪器。可进行偏光与明视场、暗视场观察转换。专门设计的大移动范围载物台，移动范围:8"×8"(204mm×204mm)，满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:0.7μm。三目镜筒，可进行100%透光摄影。

大平台有限远芯片检查显微镜

LW400T

LW400T广泛的应用于透明，半透明或不透明物质的观测。本仪器配有大移动范围的载物台，落射照明器、平场金相物镜，大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，是专门为检测晶圆而设计制造的。