产品规格:进口
产品单位:台
进口激光共聚焦显微镜|奥林巴斯激光共焦显微镜|OLS5000系列激光共聚焦显微镜
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值:
捕捉任意表面形状。
快速获得可靠数据。
使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
测量具有挑战性的样品。
价值1:捕捉任意表面形状。
OLS5000显微镜的技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。
价值2、快速获得可靠数据
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,实现生产力的提升。
价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。
价值4、可测量具有挑战性的样品
低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。
[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
[405纳米激光光源]
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓Y的横向分辨率。
[激光共焦光学系统]
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像
[X-Y扫描仪]
OLS5000激光共聚焦显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的Z越X-Y扫描。
[高度测量原理]
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。
进口激光共聚焦显微镜|奥林巴斯激光共焦显微镜|OLS5000系列激光共聚焦显微镜技术规格
主机规格:
型号 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
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总倍率 |
54x - 17,280x |
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视场直径 |
16 μm - 5,120 μm |
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测量原理 |
光学系统 |
反射式共焦激光扫描激光显微镜 |
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光接收元件 |
激光:光电倍增管(2ch) |
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高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 纳米 |
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动态范围 |
16 位 |
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可重复性 n-1 *1 *2 *6 |
20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm |
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精度 *1 *3 *6 |
测量值 +/- 1.5% |
|||||
拼接图像精度 *1 *4 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) |
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测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6 |
1 纳米 |
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宽度测量 |
显示分辨率 |
1 纳米 |
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可重复性 3 n-1 *1 *6 |
20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm |
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精度 *1 *3 *6 |
测量值 +/- 1.5% |
|||||
拼接图像精度 *1 *3 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm]) |
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单次测量时测量点的最大数量 |
4096 x 4096 像素 |
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测量点的最大数量 |
3600 万像素 |
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XY 载物台配置 |
长度测量模块 |
• |
无 |
无 |
• |
无 |
工作范围 |
100 x 100 mm 电动 |
100 x 100 mm 手动 |
300 x 300 mm 电动 |
100 x 100 mm 电动 |
100 x 100 mm 手动 |
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最大样品高度 |
100 mm |
30 mm |
30 mm |
210 mm |
140 mm |
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激光光源 |
波长 |
405 nm |
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最大输出 |
0.95 mW |
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激光分类 |
2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 |
白光 LED |
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电气功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
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质量 |
显微镜主体 |
约 31 公斤 |
约 30 公斤 |
约 50 公斤 |
约 43 公斤 |
约 39 公斤 |
控制器 |
约 12 公斤 |