产品规格:日本原装进口
产品单位:台
(4)直观的GUI 实现系统化的工作流程
奥林巴斯工业显微镜之激光共聚焦显微镜主机:
LSM 部分 |
光源、检出系统 |
光源:405 nm 半导体激光 |
|
总倍率 |
108x ~ 17,280x |
||
变焦 |
光学变焦1x ~ 8x |
||
测量 |
平面测量 |
重复性 |
00x: 3σn-1=0.02 μm |
正确性 |
测量值的±2%以内 |
||
高度测量 |
方式 |
物镜转换器上下驱动方式 |
|
行程 |
10 mm |
||
内置比例尺 |
0.8 nm |
||
移动分辨率 |
10 nm |
||
显示分辨率 |
1 nm |
||
重复性 |
50x: σn-1=0.012 μm |
||
正确性 |
0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm) |
||
彩色观察部分 |
光源、检查系统 |
光源:白色LED, |
|
变焦 |
数码变焦1x ~ 8x |
||
物镜转换器 |
6 孔电动物镜转换器 |
||
微分干涉单元 |
微分干涉滑片:U-DICR, |
||
物镜 |
明视场平面半消色差透镜5x、10x |
||
Z 对焦部分行程 |
100 mm |
||
XY 载物台 |
100×100 mm(电动载物台), |
此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
物镜
型号 |
倍率 |
视场 |
工作距离(WD) |
数值孔径(N/A) |
MPLFLN5X |
108x-864x |
2,560-320 μm |
20.0 mm |
0.15 |
MPLFLN10X |
216x-1,728x |
1,280-160 μm |
11.0 mm |
0.30 |
MPLAPON20XLEXT |
432x-3,456x |
640-80 μm |
1.0 mm |
0.60 |
MPLAPON50XLEXT |
1,080x-8,640x |
256-32 μm |
0.35 mm |
0.95 |
MPLAPON100XLEXT |
2,160x-17,280x |
128-16 μm |
0.35 mm |
0.95 |