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美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)

产品名称:美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)

产品规格:Nova NanoSEM50

产品单位:台

产品详情

美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)

Nova NanoSEM 扫描电子显微镜

适合各种应用的卓越纳米级研究工具

Nova NanoSEM50系列可帮助取得更大成就。 NanoSEM50系列还引入了最低速度新一代的高灵敏可伸缩SE/ BSE和干探测器和多功能的SE/ BSE过滤功能,使感兴趣的信息最低速度最佳化。智能扫描模式可用于尽可能避免成像假象。

美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)主要优点

场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪

先进的光学和探测技术,包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE TLDBSEDBS STEM,可实现最佳信息选择和图像优化

低至 50 V 的射束着陆能量

1.4 nm @ 1 kV、无射束减速

全球唯一真正高分辨率的低真空 FESEM 1.8 nm @ 3 kV 30 Pa

高达 200 nA 的高真空或低真空分析

整合式 16 位扫描/制图引擎

超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统

150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)

美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)规格

Nova NanoSEM 50 系列

分辨率 高真空

15 kV (TLD)
1 kV (TLD
、无
BD)
100 V (DBS)
15 kV, 5 nA

1.0 nm
1.4 nm
3.5 nm
3.0 nm

分辨率 低真空

3 kV 30 Pa (Helix)

1.8 nm

射束电流

高达 200 nA

着陆电压范围

50 V - 30 kV

样品台

X x Y x Z (mm)

110 x 110 x 25
150 x 150 x 10

机室

大试件室

探测

透镜内
透镜下、大角度探测器

TLD SE BSE
高灵敏度 DBS (SE/BSE)